アプリケーション事例 - アプリケーション – ウエハ収納

事例名称	アプリケーション – ウエハ収納
制御モード	位置制御
内容	◆ST-Servoの位置制御 ・高精度位置決め ・低振動 ・脱調レス ・低発熱・省電力・低騒音

アプリケーション事例

・運ぶ・送る・搬送 - コンベア搬送 ・運ぶ・送る・搬送 - XY軸基板搬送 ・上下・左右に動かす - 3軸XYZ駆動ピック＆プレイス

・掴む・把持 - グリッパー＆インデックステーブル ・テンションコントロール - ロール引出し ・定量抽出　-　塗布液の抽出

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