ステッピングモータでサーボ制御、中空ロータリー・アクチュエータ ステッピングモータでサーボ制御 中空ロータリー・アクチュエータ

アプリケーション事例 - アプリケーション – XY軸基板搬送

アプリケーション – XY軸基板搬送
事例名称 アプリケーション – XY軸基板搬送
制御モード 位置制御
内容 ◆ST-Servoの押し当て制御
・超精密押し当て制御
・低振動
・脱調レス
・低発熱・省電力・低騒音
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